ERUN-PG51NF3固定在線式三氟化氮檢測報警儀適用于半導體芯片、平板顯示器、光纖、光伏電池等使用三氟化氮NF3作為等離子蝕刻氣體和反應(yīng)腔清洗劑的工況場所，固定式三氟化氮泄漏檢測儀可以連續(xù)實時在線監(jiān)測空氣中三氟化氮的濃度值及泄漏狀況。在線式氟化氮NF3濃度報警探測器能夠在監(jiān)測到三氟化氮濃度達到或超過儀器預(yù)設(shè)的報警濃度值時時就會發(fā)出聲光報警，信號遠程傳輸至值班室監(jiān)控主機上同步顯示氟化氮的濃度值和報警狀態(tài)，并自動聯(lián)鎖控制排氣風機進行通風換氣。
ERUN-PG51NF3固定式三氟化氮NF3報警儀采用工業(yè)級進口高精度電化學原理傳感器，可用于快速準確測量氟化氮的濃度值及泄漏狀況，誤差小、精度高，測量結(jié)果準確可靠。工業(yè)氟化氮泄漏探測器具有防塵、防爆和防水功能，抗強電磁干擾和靜電的產(chǎn)生，不僅滿足國家型式批準的要求，而且還能夠同時滿足各省市地區(qū)相關(guān)驗收標準，是目前市面上主流一線品牌氣體檢測報警儀。在線式三氟化氮濃度探測儀能夠通過分線制4-20mA模擬量或總線制RS485（Modbus RTU）或無線傳輸模式開關(guān)量將監(jiān)測到的氣體濃度數(shù)據(jù)及報警狀態(tài)實時傳輸至值班室的監(jiān)控主機上，進行氣體濃度同步顯示和報警，并可自動聯(lián)鎖控制排氣風機進行通風換氣工作。

檢測氣體	三氟化氮NF3
量程分辨率	NF3：0-50ppm、0.01ppm、進口高精度電化學原理傳感器 或 NF3：0-1000ppm、0.1ppm、進口高精度電化學原理傳感器 其他量程、原理、分辨率可訂制
檢測精度	≤±3%F.S（更高精度可訂制）
重 復(fù) 性	≤±2%
線 性 度	≤±2%
不確定度	≤±2%
響應(yīng)時間	T90≤20秒
恢復(fù)時間	≤30秒
信號輸出	總線制RS485（Modbus-RTU），分線制4～20mA， 選配：0～20mA、1～5V、0～5V、0～10V、無線傳輸、網(wǎng)絡(luò)傳輸、短信報警。
工作方式	固定式安裝，在線檢測，擴散式測量；可選管道式、流通式、泵吸式測量。
顯示方式	現(xiàn)場1.7寸高清彩屏顯示，可選現(xiàn)場無顯示，或選配ERUN-PG32E控制器遠程顯示、控制、報警
報警方式	默認1路，可選2路無源觸點（干節(jié)點）輸出，三級報警，報警點可設(shè)置 現(xiàn)場聲光報警
安裝方式	管道式、壁掛式。管道式的工作壓力為大氣壓±30%，超出范圍需降壓處理。
工作電壓	12～30VDC直流，單臺設(shè)備的標準電源為24V，1A或大于1A 的直流穩(wěn)壓開關(guān)電源
工作環(huán)境	溫度：-40℃～+70℃，濕度：≤10～95%RH （常規(guī)）非凝露場合 在凝露場合使用須訂制或訂貨時注明使用環(huán)境
電氣接口	3/4NPT，可選M20*1.5內(nèi)螺紋、1/2NPT
連接電纜	4～20mA選三芯屏蔽電纜，RS485選四芯，距離超1000米時單根線徑≥1.5mm；屏蔽層接大地。
防護等級	IP65級防水防塵
防爆類型	隔爆型，Ex d ⅡC T6 Gb級防爆
外型尺寸	210×170×85mm(L×H×W)
重    量	1600g

1、具有二級防雷、IP65級防水功能，以及防塵和防爆功能，抗強電磁干擾和靜電的產(chǎn)生；
2、具有防反接功能，任意形式的錯誤接線都不會對固定式三氟化氮NF3報警儀造成損壞；
3、具有獨立氣室，可以防止顆粒物、雜質(zhì)直接隨待測氣體進入儀器，使用壽命及可靠性更高；
4、通過4-20mA模擬量、RS485、開關(guān)量將監(jiān)測到的濃度數(shù)據(jù)傳輸至監(jiān)控值班室的控制器主機上，進行同步顯示和報警；
5、可在-40℃極寒工況或+70℃極熱工況環(huán)境下正常使用，并且儀器可自動溫度補償；
6、不僅滿足國家型式批準的要求，而且還能夠同時滿足各省市地區(qū)相關(guān)驗收標準；
7、誤操作恢復(fù)功能，可以將某一時段內(nèi)的更改設(shè)置恢復(fù)到之前的狀態(tài)；
8、標配紅外遙控器，可遠程進行消除報警聲、修改報警值、恢復(fù)出廠設(shè)置等功能。

標準附件	工業(yè)氟化氮泄漏探測器、說明書、合格證、外箱包裝盒
安裝型附件	選配：流量計、24VDC或220AC采樣泵（采樣距離10米）、真空泵（采樣距離大于40米）、減壓閥、24V開關(guān)電源、墻壁安裝支架、管道安裝不銹鋼螺紋焊座或法蘭（需注明管道或法蘭尺寸，如DN50、DN15...）、防雨罩、固定在管道上的安裝卡扣（四分、六分管）。
預(yù)處理（選配）	高溫高濕度預(yù)處理系統(tǒng)、高溫高濕高粉塵預(yù)處理系統(tǒng)、常溫高濕預(yù)處理系統(tǒng)
無線傳輸（選配）	可以把數(shù)據(jù)無線傳輸?shù)竭h程監(jiān)控中心、手機、監(jiān)控電腦等監(jiān)控設(shè)備，利用上位機在電腦上，進行數(shù)據(jù)分析、存儲、打印等功能
選配附件	連電腦監(jiān)控的配件：RS485/RS232轉(zhuǎn)換器、免費上位機軟件、無RS232接口的筆記本電腦還需USB/RS232 轉(zhuǎn)換連接線，如果要網(wǎng)絡(luò)傳輸還需 TCP/IP轉(zhuǎn)換器； 分體式聲光報警器、一體式聲光報警器、24V直流穩(wěn)壓電源。

以上就是關(guān)于ERUN-PG51NF3固定在線式三氟化氮檢測報警儀的相關(guān)介紹，三氟化氮，又稱作氟化氮，化學式為NF3，常溫常壓下為無色氣體，屬于對人體有毒有害的氣體，在現(xiàn)場安裝使用固定式三氟化氮泄漏檢測儀主要是為了能夠24小時連續(xù)實時在線監(jiān)測環(huán)境空氣中的三氟化氮的濃度值，以免過量泄漏積聚的三氟化氮造成人員中毒事故的發(fā)生。三氟化氮是一種強氧化劑，具有助燃性，受熱或與火焰、電火化、有機物等接觸能燃燒，與還原劑能發(fā)生強烈反應(yīng)，甚至爆炸。此外，氟化氮作為對人體有毒有害的氣體，人員不慎吸入較高濃度時，會對皮膚、粘膜有刺激作用，情況嚴重時，甚至會危及生命，通過在現(xiàn)場安裝使用在線式氟化氮NF3濃度報警探測器可以有效避免危險事故的發(fā)生。